交付信息

交付日期：2023年10月20日
客戶單位：南京工業(yè)大學(xué)
交付產(chǎn)品：TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)

現(xiàn)場(chǎng)實(shí)拍

核心指標(biāo)

• • 真空卡盤直徑：4英寸

• • 樣品臺(tái)位移精度：<3μm

• • 探針座位移精度：<3μm

• • 漏電流精度：<100fA

• • 兼容多種光學(xué)顯微鏡

該探針臺(tái)系統(tǒng)可外引光路實(shí)現(xiàn)光電Mapping測(cè)試，是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測(cè)試的理想選擇。

產(chǎn)品介紹

譜量光電：TLRH系列 精密型組合式探針臺(tái)

產(chǎn)品樣圖

產(chǎn)品特點(diǎn)

• • 模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；

• • 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試；

• • 探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；

• • 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電Mapping測(cè)試；

• • 滿足1µm以上電極/PAD使用;

• • 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

• • 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);

• • 加寬探針?lè)胖眉埽煞胖?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；

• • 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。

應(yīng)用領(lǐng)域

多被用于科研院校搭建測(cè)試系統(tǒng)，例如：材料電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、光電探測(cè)器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測(cè)試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等。

公司可根據(jù)客戶實(shí)際需求定制配套的探針臺(tái)，以達(dá)到更好的測(cè)試效果和性價(jià)比，具體可各平臺(tái)咨詢客服。