LMT-H系列高分辨二維材料轉移系統是我司根據客戶應用,自主研發的低維材料異質結器件轉移產品,適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點轉移,以及多層范德華異質結的制備,實現了低維材料轉移的可視化操作。轉移系統由高分辨金相顯微系統、精確控溫系統、真空吸附系統、高精度四軸樣品臺及五軸襯底載物臺等組成,目標襯底載物臺可面內大角度旋轉,是研究異質結特性、空間反演對稱性破缺、以及二維材料不同堆疊方式影響的有力工具。
技術優勢:
集成化設計,易操作
高分辨金相成像,實現μm級尺度轉移
高位移精度,無回程差設計
精確控溫模塊,適用多種材料
應用領域:
魔角超導
二維材料堆疊
范德華異質結制備
異質結空間反演對稱性破缺
參數 | 指標 |
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襯底載物平臺 | XY方向兩軸手動平移,臺面60mm x 60mm,行程25mm,調節精度優于2μm;繞Z軸旋轉調節,臺面φ85mm,360°粗調,±5°精調,可視分辨率優于0.8′;水平傾斜調節,臺面60mm x 60mm,調節范圍±2°,最小調整量5′;真空吸附加熱樣品臺,高溫~240℃,PID溫控器,控溫精度優于±0.1℃,高熱導率加熱臺面,帶散熱冷卻模塊,升降溫速度快。 |
載玻片位移平臺 | XYZ方向三軸手動平移,臺面80mm x 80mm,行程25mm,調節精度優于2μm;繞Z軸旋轉調節,臺面φ110mm,360°粗調,±5°精調,可視分辨率優于0.57′,定制高穩定載玻片夾具,裝夾方便。 |
高分辨金相顯微鏡 | 雙目鏡SWH10X/25mm, 0.65倍CTV, 明場長軸照明器,五孔物鏡轉盤,標配5X、10X、50X復消色差長工作距離物鏡,10X、100X可選,預留濾光及偏光插槽,帶光闌調節通光量及視野大小,高穩定調焦機構,成像質量優異,適用μm級樣品定點精確轉移。 |
顯微鏡二維調節 | 顯微鏡整體XY二維滑片,行程50mm,精度高≥2μm,可在二維材料貼合之后,大范圍調整顯微鏡觀察視野。 |
成像相機 | 1200萬像素高靈敏度彩色數字相機,高清成像,提供相機操作軟件。 |
高清顯示器 | 24英寸2K高清顯示器,配置高穩定方向調節支架。 |
集成式電控機箱 | 系統電控集成,控制樣品臺加熱、冷卻模塊、溫控模塊、真空吸附。 |
真空泵 | 吐出空氣量7L/min,達到真空度-33.3Kpa,耐用時間超過10000小時。 |
選配功能 | 探針臺模塊、光學隔振平臺、PDMS熱釋薄膜、二維材料(機械剝離器、塊材)、物鏡(10X、100X)、電動調節模塊、手套箱環境使用等。 |