產(chǎn)品中心
當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 探針臺 > 精密型光電測試探針臺 > TLPH精密型光電測試探針臺
簡要描述:TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來,實現(xiàn)高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路,實現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測,是光電芯片/器件測試的理想之選。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 整體位移精度 | 3um |
---|
產(chǎn)品介紹
TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來,實現(xiàn)高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路,實現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測,是光電芯片/器件測試的理想之選。
技術(shù)優(yōu)勢
.模塊化設(shè)計,可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試;
. 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試;
.探針臺整體位移精度高達3um,樣品臺精密四維調(diào)節(jié);
. 激光顯微鏡,5檔物鏡轉(zhuǎn)盤,可引入激光完成光電流測試;
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi));
. 探針座采用進口交叉滾珠導軌,線性移動,無回程差設(shè)計;
. 加寬探針放置架,可放置6個DC探針座/4個RF探針座;
. 配顯微鏡三維精密調(diào)節(jié)功能,且可選配多種行程及驅(qū)動方式。
模塊介紹
通用參數(shù)
常規(guī)選型
相關(guān)配件
多種精度,多種夾具類型探針座
同軸線纜,三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領(lǐng)域
半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應用需求,定制配套精密型光電測試探針臺,以達更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯(lián)系詳詢。
產(chǎn)品咨詢