上海某前沿科創企業 TLRB系列標準型基礎測試探針臺 交付驗收

核心指標：

真空吸附卡盤：6英寸

樣品臺位移精度：<10μm

探針座位移精度：<3μm

漏電流精度：<10pA

兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電mapping測試

是半導體材料或器件電學測試的理想選擇。

TLRB系列探針臺簡單介紹：

.模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；

. 最大可用于12英寸以內樣品測試;

.探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節；

. 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電mapping測試；

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;

. 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計;

. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

. 配顯微鏡二維精密調節功能，且可選配多種行程及驅動方式。