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2024年05月17日-19日,智能材料與光電子器件研討會擬在浙江寧波舉行。本次大會專注“智能材料與光電子器件"的前沿領域,大會主題包括但不限于光電子集成與器件、半導體技術與器件、納米工藝與器件、智能傳感器件、神經形態器件。同時,本次大會得成功舉辦擬為學術界和產業界提供更多了解智能材料與光電子器件領域前沿的機會。
TLRH系列精密型基礎測試探針臺具有較高的位移調節精度及優異的漏電精度控制,適用于半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試等。
3μm探針位移調節精度
滿足1μm以上電極/PAD使用
漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內)
模塊化設計,可以搭配不同構件完成不同測試
基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來,實現高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路,實現光電流與IV的雙功能檢測
3μm探針位移調節精度
激光顯微鏡,5檔物鏡轉盤,可引入激光完成光電流測試
漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內)
模塊化設計,可以搭配不同構件完成不同測試
高低溫真空探針臺系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。
控溫范圍可達-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統)
控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃
極限真空度優于2Pa@機械泵,極限真空度優于3*10^(-3)Pa@分子泵組
探針位移重復定位精度2μm,分辨率3μm,單軸直線度±2μm
多種夾具類型,多種精度探針座
多種類型探針
電磁屏蔽箱
電學測試夾具
LMT-B系列低維材料轉移系統適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點轉移,以及多層范德華異質結的制備,實現了低維材料轉移的可視化操作。
集成化設計,易操作
高位移精度,無回程差設計
精確控溫模塊,適用多種材料
高質量成像,實現微米級尺度轉移