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精密氣浮隔振光學平臺的主要應用

更新時間:2023-12-13      點擊次數:693

精密氣浮隔振光學平臺能夠滿足精密負載對振動隔離需求,上面板采用優質高導磁SUS430不銹鋼,臺面內核為三層夾心式蜂窩結構,內核密度大幅度提高,具有優秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度<0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有M6陣列螺孔,易于固定光學元件。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結構),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調節閥技術,反應靈敏,響應迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復初始的平衡狀態。支撐腿內部為二級氣室結構,氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產品,標配優質大功率壓縮機,整體結構保證平臺有較高的穩定性。

應用:
顯微鏡系統、激光測試、光學制造、光電儀器研發與測試、生物醫療、精密機械制造、精密化工和無損檢測、集成電子電路、拉曼光譜實驗、精密檢測校準、對振動要求高的儀器設備。
中心為蜂窩/井字鋼支撐結構,底板為碳鋼,在保證隔振性能得同時,提高了剛性、穩定性,臺面精磨;
氣浮支架采用囊式空氣彈簧,每個支撐腿配備由單獨氣室;
采用整體焊接四支撐結構,下方為阻尼隔振墊,隔振性能好;
氣浮支架底部帶有高度調節功能,可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況;
采用原裝德國FESTO空氣伺服系統, 自動調整水平;瞬間達到初始的平衡狀態,提高光學隔振平臺的隔振效果。


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